Titánové diely pre polovodiče

1. Ultra-kontrola uvoľňovania nečistôt

Počas celého výrobného procesu prijímame schému spracovania keramických nástrojov a nástrojov bez{1}}železa. Všetky pomocné materiály, ktoré sú v kontakte s obrobkom, prechádzajú tromi cyklami čistenia kyslým praním, pričom sa prísne kontroluje celkový obsah železa, chrómu atď., aby bol v rozmedzí 0,02 %. Tým sa úplne vyhne bežnému problému s kontamináciou kovovými iónmi v polovodičových procesoch a zabráni sa tvorbe nadmerných zvyškov kovu na povrchu plátku. Znižuje riziko skratu obvodu zo strany materiálu.

 

2. Dlhodobá-odolnosť voči korózii

Potom, čo je diel vytvorený, podstúpi dve rôzne koncentrácie ponorenia do slabého oxidačného roztoku na pasiváciu. Na povrchu sa vytvorí jednotný ochranný film oxidu titaničitého s hrúbkou 8-10 nm. Dokonca aj pri vystavení zriedeným roztokom kyseliny fluorovodíkovej a kyseliny dusičnej v procese čistenia polovodičov nepretržite po dobu 2 000 hodín nedôjde k odlúpnutiu jamiek a k poškriabaniu povrchu plátku žiadnymi úlomkami.

 

3. Vysoká-presná rozmerová stabilita

Počas spracovania celý proces využíva rozprašovanie tekutého dusíka na konštantnú kontrolu teploty, ktorá kontroluje deformáciu generovanú počas spracovania v rozmedzí 0,003 mm. Pred opustením továrne sa hotové výrobky podrobia 24-hodinovým cyklickým testom pri vysokej a nízkej teplote. Dokonca aj pri prevádzke v prostredí polovodičového procesu pri 180 stupňoch po dlhú dobu, nedôjde k žiadnemu deformačnému zablokovaniu a žiadnemu deformačnému prilepeniu. Nie je potrebné často rozoberať a nastavovať presnosť zarovnania.

 

4. Nízka výfuková rýchlosť vhodná pre podtlakové prostredie

Všetky diely sa najskôr 48 hodín podrobia vákuovému vypaľovaniu pri 120 stupňoch na odplynenie. Vodná para a drobné čiastočky adsorbované na povrchu sú úplne odstránené. Po inštalácii do polovodičovej vákuovej komory môže pomôcť zariadeniu dosiahnuť cieľový stupeň vákua o 25 % rýchlejšie ako pri použití bežných dielov z nehrdzavejúcej ocele, čím sa zníži časová strata čakania na vákuové čerpanie.

1. Zásobník plátkov pre PVD naparovací stroj

Používa sa na podopretie kremíkového plátku, ktorý sa má potiahnuť. Vo vysokoteplotnom prostredí naprašovania cieľového materiálu titánová časť nereaguje s naprašovacím plynom a neuvoľňuje nadbytočné nečistoty do komory, čo môže zlepšiť rovnomernosť vrstvy kovového filmu nanesenej na povrchu plátku o 5 %, čím sa zabráni problémom s únikom triesok spôsobeným nedostatočnou hrúbkou kovovej vrstvy. Je vhodný pre požiadavky na výrobu náterov 28nm a menej procesov.

 

2. Nosič plátkov pre stroj na mokré čistenie

Pri štandardnom čistiacom procese RCA je stojan úplne ponorený do čistiacich roztokov silných kyselín a silných zásad. Titánový materiál nebude korodovaný a nebude produkovať úlomky a nepriľne k povrchu plátku, aby spôsobil kontamináciu časticami. Môže znížiť mieru defektov častíc pri jednodávkovom čistení plátkov o 12 %. Ľahká charakteristika stojana zároveň môže znížiť prenosové zaťaženie čistiaceho stroja a znížiť spotrebu energie zariadenia.

 

3. Sedlo na upevnenie elektródy pre stroj na implantáciu iónov

Používa sa na upevnenie vysokonapäťových{0} elektród v stroji. Ne-magnetická vlastnosť titánu nebude interferovať s trajektóriou iónového lúča, čo umožní, aby hĺbková odchýlka implantácie iónov bola riadená vo veľmi malom rozsahu, čím sa predíde problému nerovnomernej injekčnej dávky v miestnej oblasti plátku. Výrazne zlepšuje konzistentnosť elektrického výkonu čipu.

 

4. Príruba konektora pre polovodičové vákuové potrubie

Pripojenie rôznych častí vákuového potrubia stroja. Nízka rýchlosť výfukových plynov titánu môže udržiavať vysoko-čisté vákuové prostredie vo vnútri potrubia a nespôsobí kolísanie stupňa vákua v dôsledku uvoľňovania plynu z bežných prírub z nehrdzavejúcej ocele po -dlhodobom používaní. Znižuje počet alarmov vypnutia stroja vyvolaných abnormálnymi podtlakmi a zvyšuje čas nepretržitej prevádzky výrobnej linky o 30 %.

1. Prispôsobenie ne-štandardných rozmerov

Spoliehajúc sa na naše vlastné 5-osové obrábacie centrum je možné dĺžku, šírku a výšku dielov upraviť podľa inštalačného priestoru existujúceho polovodičového zariadenia zákazníka. Zákazník nemusí upravovať rozhranie zariadenia a prvá vzorka môže byť doručená do 7 dní.

 

2. Prispôsobenie stavu povrchu

Podľa potreby je možné zvoliť dva spôsoby povrchovej úpravy: zrkadlové leštenie a matné pieskovanie. Sú vhodné pre rôzne požiadavky na čistotu výrobného procesu a môžu zabrániť adhézii častíc, ktorá ovplyvňuje prostredie výroby polovodičov.

 

3. Prispôsobenie špeciálnych rozhraní

Špeciálne konštrukcie, ako sú špeciálne sloty na karty a polohovacie otvory, je možné prispôsobiť tak, aby plne zodpovedali montážnym požiadavkám zákazníka-vyvinutého zariadenia. Nie je potrebné pridávať žiadne ďalšie komponenty adaptéra.

Položka	Špecifikácia
Názov produktu	Titánové diely pre polovodiče
Materiál	Čistý titán (stupeň 2), zliatina titánu (stupeň 5 Ti-6Al-4V)
Výrobný proces	CNC obrábanie, sústruženie, frézovanie, brúsenie, zváranie
Dostupné tvary	Doska, krúžok, rúrka, tyč, blok, vlastné diely
Rozmery	Prispôsobené podľa výkresov alebo vzoriek
Tolerancia	Až ±0,01 mm
Povrchová úprava	Leštené, pieskované, morené, eloxované, presne opracované
Drsnosť povrchu	Ra 0,2 – 1,6 μm (vlastné dostupné)
Čistota	Až 99,6 % (titán 2. stupňa)
Prevádzková teplota	Až 400 stupňov
Hustota	4,51 g/cm³
Tvrdosť	2. stupeň: HB 145–200; 5. stupeň: HRC 30–36
Odolnosť proti korózii	Vynikajúca odolnosť voči kyselinám, zásadám a procesným chemikáliám
Chemická kompatibilita	Vhodné pre polovodičové chemikálie a prostredia s ultra{0}}vysokou čistotou
Inšpekcia	Rozmerová kontrola, certifikácia materiálu, kontrola povrchu

 

 

 

Populárne Tagy: titánové diely pre polovodiče, Čína titánové diely pre výrobcov polovodičov, dodávateľov, továreň, časti na chemické spracovanie titánu, titánové CNC obrábané diely, titánové tepelne odolné časti, titánové vysoko presné cnc komponenty, titánové obrábané komponenty s vysokou toleranciou, titánové frézované diely