Titánové polovodičové komponenty
Nosná podložka z polovodičovej-titánovej zliatiny uvedená na trh spoločnosťou China Super Tech Co., Ltd. je takmer -sieťový-tvar jadra špeciálne navrhnutý pre špičkové-litografické zariadenia. Jeho hmotnosť je približne 80 kilogramov. Je vyrobený zo substrátu zo zliatiny titánu prostredníctvom procesu lisovania jedného-kusu a môže stabilne niesť doštičkové moduly v prostredí výroby polovodičov s vysokou-čistotou a vysokou{11}}vibráciou. To výrazne znižuje plytvanie materiálom a odchýlky presnosti spôsobené tradičnými metódami spracovania.
- Predstavenie výrobku
Vlastnosti produktu
1. Nízka strata materiálu
Použitím procesu plazmového nanášania oblúkom a použitím titánového drôtu ako suroviny na fúzovanie a tvarovanie vrstiev-by{1}}je miera využitia materiálu o 70 % vyššia ako pri tradičnom frézovaní, čím sa znižuje zbytočná spotreba vzácnych titánových materiálov.
2. Vysoká tuhosť konštrukcie
Po vytvarovaní je vnútorná štruktúra hustá a rovnomerná, bez bežných defektov pórovitosti pri tradičnom odlievaní. Je menej pravdepodobné, že sa deformuje pri vysokej{1}}rýchlosti pohybu zariadenia a kolísanie presnosti je menšie ako 0,02 mm pri dlhodobom-používaní.
3. Nízke zvyškové napätie
Po vytvarovaní sa komponentom poskytne exkluzívne teplotne{0}}riadené starnutie. Zvyškové napätie vo vnútri komponentov je oveľa nižšie, než je úroveň priemyselného štandardu. Pri následnom precíznom spracovaní nedôjde k neočakávanej deformácii.
4. Vysoká čistota a kompatibilita
Povrch titánovej zliatiny môže byť ošetrený pasiváciou, ktorá nie je náchylná na zrážanie kovových častíc a plne spĺňa požiadavky na vysokú čistotu výroby polovodičovej dielne.
Aplikácia produktu
1. Nosič plátkov pre litografické zariadenia
Ako nosič plátku v litografickom systéme bezpečne drží modul plátku počas vysokorýchlostného{0}}pohybu a procesu presného zarovnania, čím zabraňuje posunu plátku počas procesu expozície a zaisťuje presnosť leptania čiar každého plátku.
2. Vákuový poťahovací nosič
Umiestnený vo vnútri polovodičového vákuového poťahovacieho stroja, dávkuje čipy, ktoré majú byť potiahnuté. Titánový materiál má extrémne nízku mieru emisie plynu vo vákuovom prostredí, čo nenarúša vysoký vákuový stav vo vnútri poťahovacej komory, čím sa zaisťuje rovnomernosť a hustota poťahovej vrstvy.
3. Základňa prípravku na testovanie čipov
Vysoká stabilita, ktorú prináša jeho vlastná hmotnosť, ako základná súčasť zariadenia na triedenie a testovanie čipov, môže pôsobiť proti jemným vibráciám spôsobeným-triedením zariadení pri vysokej rýchlosti, čím sa stáva presnejšie zarovnanie sondy a kolíkov čipu a znižuje sa chybovosť testovania.
Prispôsobená služba
China Super Tech Co., Ltd. môže poskytnúť kompletné-prispôsobené služby procesu od prispôsobenia dopytu až po dodanie produktu. Vďaka vyspelej technológii nanášania zliatiny titánu dokáže rýchlo vyrábať predvalky takmer -čistého{5}} tvaru bez potreby opakovanej výroby foriem. Následne je na dosiahnutie požadovanej rozmerovej presnosti podľa špecifikácií zákazníka potrebné len malé množstvo presného spracovania.
Tvar a vnútornú výstužnú štruktúru komponentov vieme upraviť podľa aktuálneho inštalačného priestoru a{0}}požiadaviek na nosnosť zariadenia zákazníka a tiež vieme poskytnúť riešenia povrchovej úpravy vhodné pre rôzne úrovne čistoty podľa potrieb zákazníka. Budeme sledovať postup spracovania počas celého procesu, aby sme zabezpečili, že prispôsobené komponenty môžu priamo zapadnúť do existujúceho systému dodávateľského reťazca polovodičového zariadenia zákazníka bez potreby dodatočnej úpravy rozhrania zariadenia.
Špecifikácia
|
Parameter |
Špecifikácia |
|
Názov produktu |
Titánové polovodičové komponenty |
|
Materiál |
Čistý titán (trieda 1, trieda 2), zliatina titánu (trieda 5 / Ti-6Al-4V) |
|
Štandardné |
ASTM B348, ASTM B381, ASTM F67, ASTM F136 (dostupné na mieru) |
|
Výrobný proces |
CNC obrábanie, presné sústruženie, frézovanie, brúsenie |
|
Dostupné tvary |
Krúžky, komory, terče, príruby, dosky, prípravky, vlastné diely |
|
Priemer |
5 mm – 1000 mm |
|
Dĺžka |
Až do 3000 mm |
|
Hrúbka |
0,5 mm – 200 mm |
|
Tolerancia |
±0,005 mm až ±0,02 mm (v závislosti od dizajnu) |
|
Povrchová úprava |
Opracované, leštené, zrkadlová úprava, pieskované, morené |
|
Drsnosť povrchu |
Ra 0,2–1,6 μm |
|
Čistota |
Až 99,9 % (komerčne čistý titán) |
|
Hustota |
4,51 g/cm³ |
|
Prevádzková teplota |
Až 600 stupňov |
|
Odolnosť proti korózii |
Vynikajúca odolnosť voči kyselinám, zásadám a ultra{0}}čistým chemikáliám |
|
Certifikácia |
ISO 9001, certifikát materiálovej skúšky (EN 10204 3.1 k dispozícii) |
|
OEM / ODM |
K dispozícii |
FAQ
Prečo sa titán vo veľkej miere používa v polovodičových zariadeniach namiesto nehrdzavejúcej ocele alebo hliníka?
+
-
Titán ponúka vynikajúcu kombináciu odolnosti proti korózii, nízkeho uvoľňovania plynov, vysokého pomeru pevnosti-k{1}}hmotnosti a kompatibility s prostredím ultra{2}}vysokého vákua (UHV). Vďaka týmto vlastnostiam je ideálny pre zariadenia na výrobu polovodičov vystavené agresívnym chemikáliám, plazmovému spracovaniu a výrobným podmienkam s vysokou-čistotou. V porovnaní s nehrdzavejúcou oceľou alebo hliníkom je menej pravdepodobné, že titán kontaminuje doštičky kovovými iónmi alebo časticami, čo pomáha zlepšiť výťažnosť výroby a stabilitu procesu. Bežne sa používa pre vákuové komory, procesné prípravky, komponenty distribúcie plynu, časti na manipuláciu s plátkami a plazmové zariadenia.
Ako minimalizujete kontamináciu časticami počas výroby?
+
-
Kontaminácia časticami je jedným z najväčších problémov výrobcov polovodičov, pretože aj mikroskopické častice môžu znížiť výťažok plátku. Aby sa minimalizovala kontaminácia, titánové polovodičové súčiastky by sa mali podrobiť presnému CNC obrábaniu, po ktorom nasleduje vhodná povrchová úprava, ako je leštenie, pasivácia alebo elektrolytické leštenie, ak je to potrebné. Komponenty sa zvyčajne čistia pomocou čistiacich procesov na úrovni polovodičov{2}} a balia sa v čistom prostredí, aby sa zabránilo kontaminácii počas prepravy. Zákazníci môžu tiež požadovať špecifickú drsnosť povrchu (Ra), úrovne čistoty a prispôsobené balenie podľa požiadaviek na ich vybavenie.
Môžete vyrábať vlastné titánové polovodičové komponenty podľa výkresov?
+
-
áno. Väčšina polovodičových titánových súčiastok sa vyrába na zákazku,-pretože každý výrobca zariadení má iné konštrukčné špecifikácie. Zákazníci zvyčajne poskytujú: 2D výkresy alebo 3D CAD súbory (STEP, IGES, PDF) Požiadavky na kvalitu materiálu Špecifikácie povrchovej úpravy Kritické tolerancie Požiadavky na čistotu Požiadavky na kontrolu Na základe týchto špecifikácií je možné pred odoslaním poskytnúť presné CNC obrábanie, kontrolu rozmerov, sledovateľnosť materiálu a prispôsobené balenie.
Aké kvalitné dokumenty môžu byť poskytnuté s titánovými polovodičovými komponentmi?
+
-
Výrobcovia polovodičových zariadení často vyžadujú kompletnú dokumentáciu kvality, aby sa zabezpečila konzistentnosť a sledovateľnosť produktu. Typické dokumenty zahŕňajú: Certifikát o skúške materiálu (EN 10204 3.1) Správa o chemickom zložení Správa o mechanických vlastnostiach Správa o rozmerovej kontrole Správa o kontrole CMM Správa o drsnosti povrchu Kontrola prvého výrobku (FAI) Certifikát zhody (COC) Dodatočné kontrolné správy môžu byť tiež dodané podľa špecifikácií zákazníka.
Ako si môžu titánové komponenty udržať dlhú životnosť v náročných prostrediach na spracovanie polovodičov?
+
-
Spracovanie polovodičov často zahŕňa vysoké vákuum, vystavenie plazme, korozívne procesné plyny a ultra-čisté chemikálie. Zlý výber materiálu alebo neadekvátna povrchová úprava môže mať za následok koróziu, kontamináciu, nadmerné uvoľňovanie plynov alebo skrátenie životnosti zariadenia. Vysoko-kvalitné titánové komponenty sa vyrábajú pomocou vhodných tried titánu, presného obrábania, kontrolovanej povrchovej úpravy a prísnej kontroly kvality. Správny výber materiálu spolu s čistými výrobnými procesmi pomáha zlepšiť odolnosť proti korózii, znížiť uvoľňovanie plynov, minimalizovať tvorbu častíc a predĺžiť životnosť komponentov v náročných prevádzkových podmienkach polovodičov.
Populárne Tagy: titánové polovodičové komponenty, Čína výrobcovia titánových polovodičových komponentov, dodávatelia, továreň, titánové CNC obrábané diely, titánové cnc frézovacie diely, titánové obrábané diely s hlbokými otvormi, titánové obrábané komponenty s vysokou toleranciou, titánové viacosové obrábané titánové diely, časti titánových polovodičových zariadení
